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ウエハキャリヤ ローダ・アンローダ用非接触ウエハハンド
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 「非接触キャリヤー用ロボットハンド」は、気体を噴出することによりベルヌーイ効果により負圧を発生し、ウエハを空中に浮遊した非接触の状態にて懸垂保持します。 このハンドは薄く製作されていますので、キャリ...

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キーワードタグ: ロボット 非接触 セミコンダクタ 太陽電池 ウエハ ソーラーリサーチ研究所 搬送 ベルヌーイチャック ハンド キャリヤ ローダ アンローダ

非接触ロボットハンド
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キーワードタグ: ロボット 非接触 キャリア ウエハ ソーラーリサーチ研究所 搬送 ベルヌーイチャック ハンド 移裁

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2010-05-06 ウェーハ搬送装置 その他半導体製造装置

キーワードタグ: ロボット 非接触 プロセス セミコンダクタ ウエハ ソーラーリサーチ研究所 搬送 ベルヌーイチャック ハンド キャリヤ ローダ アンローダ

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